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GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

作者:标准资料网 时间:2024-05-18 22:16:13  浏览:9525   来源:标准资料网
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基本信息
标准名称:热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文名称:Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
中标分类: 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合
ICS分类: 电气工程 >> 半导体材料
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
首发日期:2009-10-30
作废日期:
主管部门:国家标准化管理委员会
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人:王奕、褚连青、李静
出版社:中国标准出版社
出版日期:2010-06-01
页数:16页
计划单号:20070861-T-469
适用范围

本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

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所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
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基本信息
标准名称:金属网罩
中标分类: 轻工、文化与生活用品 >> 文教、体育、娱乐用品 >> 办公用品及办公机具
发布日期:
实施日期:2001-06-01
首发日期:
作废日期:
出版日期:
适用范围

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所属分类: 轻工 文化与生活用品 文教 体育 娱乐用品 办公用品及办公机具
【英文标准名称】:Rubberhosesforagriculturalspraying
【原文标准名称】:农业喷雾机用橡胶软管
【标准号】:BSENISO1401-2000
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2000-05-15
【实施或试行日期】:2000-05-15
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:柔性管;尺寸变化;温度;直径;变形;工作压力;农用设备;合成橡胶;粘附;断裂伸长;膨胀;喷雾设备(农业);尺寸公差;等级(质量);天然橡胶;试验压力;抗拉强度;作标记;增强的材料;弯曲试验;管;溶胀
【英文主题词】:Adhesion;Ageing(materials);Agriculturalequipment;Agriculture;Bendingstress;Bodies;Classificationsystems;Dimensions;Fabrics;Fertilizers;Flexiblepipes;Marking;Materials;Ozone;Pesticides;Properties;Rubber;Rubberhoses;Rubberproducts;Specification(approval);Specifications;Sprayers;Spraying;Sprayingequipment;Tearstrength;Vulcanizedrubber
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesrequirementsforthreetypesofflexiblerubberhoseforpressuresprayingofagropharmaceuticaland/orfertilizerproductswithinatemperaturerangeof-10℃to+60℃.
【中国标准分类号】:G42
【国际标准分类号】:23_040_70
【页数】:14P;A4
【正文语种】:英语